半导体恒温系统主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。控制系统采用PID控制技术,高清显示屏,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
晶圆测试国产替代温控系统晶圆生产完成后,需要对其进行各种参数的检测,在检测的过程中,需要在不同温度下进行测试,晶圆测试用温控设备(晶圆测试温控系统)是高精度,高分辨率,高稳定性的控制设备。
高低温冷热台控温设备主要应用于高压反应釜、中试生产不锈钢反应釜、双层玻璃反应釜、夹套反应釜、微通道反应器、反应装置、组合化学等冷热源动态恒温控制以及制药行业中的低温蒸馏、精馏、萃取等设备中。